Wir bieten auch im µ-Bereich Höchstleistungen. Die Mikrosystemtechnik (MST) erstellt technische (Sub-)Systeme, deren funktionsbestimmende Strukturen Abmessungen im Mikrometerbereich haben.
Hier bieten wir hochpräzise Fertigungsverfahren für Bauteile und Prototypen von der Kleinserie bis zu hohen Stückzahlen. Denn die Mikrosystemtechnik kombiniert Methoden der Mikroelektronik, der Mikromechanik, der Mikrofluidik und der Mikrooptik, aber auch Entwicklungen der Informatik und Biotechnologie, indem sie Entwicklungen und Strukturen aus diesen Bereichen zu neuen Systemen vereinigt.
In diesen Systemen wirken Sensoren, Aktoren und Datenverarbeitung zusammen. Beispiele hierfür sind die Biodisk, die wir hergestellt haben, sowie optische Sensoren in kabellosen Mäusen, oder auch die Bubble-Jet Druckköpfe moderner Drucker mit mikrometerfeinen Düsen.
Aber auch Beschleunigungs-Sensoren zur Auslösung von Airbags, Drehraten-Sensoren für Überrollbügel, Instrumente der minimal-invasiven Chirurgie wie Endoskopsysteme oder chemische Sensoren für die Lebensmittelüberwachung werden hier entwickelt.
